ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴ
ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴ ᱫᱚ ᱟᱥᱚᱠᱟᱭ ᱛᱮ ᱩᱥᱩᱞ -ᱯᱩᱨᱤᱴᱤ ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ (SiO2) ᱛᱮ ᱵᱮᱱᱟᱣ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱠᱟᱱᱟ, ᱚᱱᱟ ᱫᱚ ᱥᱮᱢᱤᱠᱚᱱᱰᱟᱠᱴᱚᱨ, ᱚᱯᱴᱚ ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱱᱤᱠ, ᱢᱟᱭᱠᱨᱚ-ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱢᱮᱠᱟᱱᱤᱠᱟᱞ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ (MEMS), ᱚᱯᱴᱤᱠᱟᱞ ᱰᱤᱵᱷᱟᱭᱤᱥ, ᱟᱨ ᱮᱴᱟᱜ ᱠᱷᱚᱱᱰ ᱨᱮ ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱵᱮᱵᱷᱟᱨᱚᱜ ᱠᱟᱱᱟ᱾
ᱤᱱᱴᱮᱜᱽᱨᱮᱥᱚᱱ
ᱡᱤᱱᱤᱥ ᱜᱩᱱ ᱠᱚ
- ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱥᱟᱯᱷᱟ:ᱡᱟᱣᱞᱮᱠᱟ ᱥᱤᱱᱛᱷᱮᱴᱤᱠ ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ (ᱡᱮᱞᱮᱠᱟ, ᱯᱷᱭᱩᱡᱽ ᱥᱤᱞᱤᱠᱟ) ᱠᱷᱚᱱ ᱵᱮᱱᱟᱣ, ᱟᱹᱰᱤ ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱥᱟᱯᱷᱟ ( 99.99% ᱠᱷᱚᱱ ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱥᱮ ᱵᱟᱨᱟᱵᱟᱨᱤ) ᱟᱨ ᱰᱤᱵᱷᱟᱭᱤᱥ ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱨᱮ ᱵᱟᱝ ᱮᱥᱮᱨ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱠᱚᱢ ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱛᱮ ᱵᱮᱱᱟᱣ ᱟᱠᱟᱱᱟ᱾
- ᱛᱷᱟᱨᱢᱟᱞ ᱥᱴᱮᱵᱤᱞᱤᱴᱤ:ᱛᱷᱟᱨᱢᱟᱞ ᱯᱟᱥᱱᱟᱣ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱠᱚᱢ ᱜᱩᱱ (≈0.55×10−6/ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ) ᱟᱨ ᱪᱮᱛᱟᱱ-ᱞᱚᱞᱚ ᱵᱚᱱᱫᱚ (ᱞᱟᱵᱤᱫ ᱯᱚᱭᱮᱱᱴ ~1600 ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ), ᱪᱮᱛᱟᱱ-ᱞᱚᱞᱚ ᱠᱟᱹᱢᱤᱦᱚᱨᱟ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱵᱮᱥ ᱜᱮᱭᱟ᱾
- ᱚᱯᱴᱤᱠᱟᱞ ᱯᱟᱨᱯᱷᱚᱨᱢᱮᱱᱥ:ᱯᱷᱟᱭᱞᱟ ᱴᱨᱟᱱᱥᱢᱤᱥᱚᱱ ᱯᱟᱥᱱᱟᱣ (ᱭᱩᱵᱤ ᱠᱷᱚᱱ ᱟᱭᱟᱨ), ᱵᱮᱥ ᱭᱩᱵᱤ ᱴᱨᱟᱱᱥᱢᱤᱴᱟᱱᱥ ᱥᱟᱶᱛᱮ, ᱯᱷᱳᱴᱳᱢᱟᱥᱠ, ᱞᱮᱱᱥ ᱮᱢᱟᱱ ᱠᱚ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱵᱮᱥ ᱜᱮᱭᱟ᱾
- ᱠᱮᱢᱤᱠᱮᱞ ᱤᱱᱟᱨᱴᱱᱮᱥ:ᱮᱥᱤᱰ ᱟᱨ ᱮᱞᱠᱟᱞᱤᱥ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱛᱟᱯᱟᱢ (ᱦᱟᱭᱰᱨᱚᱯᱷᱞᱳᱨᱤᱠ ᱮᱥᱤᱰ ᱪᱷᱟᱰᱟ ᱠᱟᱛᱮ), ᱚᱫᱟ ᱮᱪᱤᱝ ᱠᱟᱹᱢᱤᱦᱚᱨᱟ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱵᱮᱥ ᱜᱮᱭᱟ᱾
- ᱵᱤᱡᱽᱞᱤ ᱤᱱᱥᱩᱞᱮᱥᱚᱱ:High resistivity (>1016 Ω·cm), ᱤᱱᱥᱩᱞᱮᱴᱤᱝ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴᱥ ᱥᱮ ᱪᱮᱛᱟᱱ-ᱯᱷᱨᱤᱠᱩᱣᱮᱱᱥᱤ ᱰᱤᱵᱷᱟᱭᱤᱥ ᱠᱚ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱵᱮᱥ ᱜᱮᱭᱟ᱾
ᱮᱯᱞᱤᱠᱮᱥᱚᱱ
ᱥᱮᱢᱤᱠᱚᱱᱰᱟᱠᱴᱚᱨ ᱵᱮᱱᱟᱣ
- ᱯᱷᱳᱴᱳᱢᱟᱥᱠ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴᱥ
- ᱤᱭᱩᱵᱤ ᱞᱤᱛᱷᱚᱜᱽᱨᱟᱯᱷᱤ ᱨᱟᱭᱵᱟᱨ
- ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱯᱨᱚᱥᱮᱥᱤᱝ ᱠᱮᱨᱤᱭᱟᱨ
ᱯᱷᱳᱴᱚᱱᱤᱠᱥ ᱟᱨ ᱚᱯᱴᱳ ᱤᱞᱮᱠᱴᱨᱚᱱᱤᱠᱥ
- ᱚᱯᱴᱤᱠᱟᱞ ᱣᱮᱵᱷᱜᱟᱭᱤᱰ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴᱥ
- ᱞᱮᱡᱟᱨ ᱰᱟᱭᱳᱰ ᱢᱟᱩᱱᱴᱤᱝ
- ᱠᱣᱟᱱᱴᱚᱢ ᱠᱚᱢᱯᱭᱩᱴᱤᱝ ᱨᱟᱭᱵᱟᱨ
ᱵᱤᱥᱮᱥ ᱮᱯᱞᱤᱠᱮᱥᱚᱱ
- ᱮᱢᱤᱮᱢᱮᱥ ᱨᱮᱡᱚᱱᱮᱴᱚᱨ ᱵᱮᱥᱥ
- ᱥᱯᱮᱥ ᱴᱮᱞᱤᱥᱠᱚᱯ ᱚᱯᱴᱤᱠᱥ
- ᱪᱮᱛᱟᱱ-ᱫᱟᱲᱮ ᱞᱮᱡᱟᱨ ᱥᱤᱥᱴᱚᱢ
ᱵᱮᱱᱟᱣ ᱯᱨᱚᱥᱮᱥ
- ᱵᱮᱨᱮᱫ ᱡᱤᱱᱤᱥ ᱥᱟᱭᱤᱱᱛᱷᱮᱥᱤᱥ:ᱵᱟᱯᱚᱨ ᱰᱤᱯᱚᱡᱤᱥᱚᱱ ᱦᱚᱛᱮᱛᱮ ᱩᱛᱟᱹᱨᱚᱜ ᱠᱟᱱᱟ (ᱡᱮᱞᱠᱟ, SiCl4 ᱚᱠᱥᱤᱰᱮᱥᱚᱱ) ᱥᱮ ᱥᱤᱨᱡᱚᱱ ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ ᱥᱟᱯᱷᱟᱭ ᱠᱟᱛᱮ ᱾
- ᱞᱮᱛᱟᱲ ᱟᱨ ᱵᱮᱱᱟᱣᱺᱵᱟᱹᱲᱛᱤ-ᱞᱚᱞᱚ ᱛᱮ ᱛᱩᱞᱩᱡ ᱛᱮ ᱤᱱᱜᱚᱴ ᱨᱮ ᱨᱮᱭᱟᱲ ᱥᱮ ᱥᱚᱡᱷᱮ ᱨᱚᱰ ᱨᱮ ᱚᱨ ᱢᱮ ᱾
- ᱜᱮᱫ:ᱦᱤᱨᱟᱹ ᱛᱟᱨ ᱟᱹᱨᱤ ᱥᱮ ᱞᱮᱡᱟᱨ ᱠᱟᱴᱤᱝ ᱵᱮᱵᱷᱟᱨ ᱠᱟᱛᱮ ᱯᱟᱛᱞᱟ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱨᱮ ᱥᱞᱟᱭᱤᱥ ᱢᱮ ᱾
- ᱯᱤᱥᱟᱹᱣ ᱟᱨ ᱯᱚᱞᱤᱥᱤᱝ:ᱠᱮᱢᱤᱠᱮᱞ ᱢᱮᱠᱟᱱᱤᱠᱟᱞ ᱯᱚᱞᱤᱥᱤᱝ (ᱥᱤ ᱮᱢ ᱯᱤ) ᱫᱚ ᱱᱮᱱᱚᱢᱤᱴᱟᱨ {{᱐}} ᱞᱮᱵᱮᱞ ᱪᱤᱞᱤᱧ ᱦᱟᱢᱮᱴ ᱮᱫᱟᱭ᱾
- ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱟᱨ ᱧᱮᱞ ᱛᱚᱞᱟᱥ:ᱠᱟᱱᱰᱤ ᱠᱚ ᱟᱨ ᱫᱷᱟᱛᱩ ᱫᱩᱢᱵᱽᱲᱩ ᱠᱚ ᱚᱪᱚᱜ, ᱚᱱᱟ ᱛᱟᱭᱚᱢ ᱰᱤᱯᱷᱮᱠᱴ ᱟᱨ ᱯᱮᱨᱟᱢᱤᱴᱟᱨ ᱵᱤᱱᱤᱰ᱾
ᱡᱟᱭᱜᱟ
|
ᱦᱚᱲᱢᱚ ᱜᱩᱱ ᱠᱚ |
ᱜᱚᱱᱚᱝ ᱠᱚ |
|
ᱥᱟᱯᱷᱟ |
＞99.99% |
|
ᱰᱮᱱᱥᱤᱴᱤ |
᱒.᱒g/cm3 |
|
ᱴᱨᱟᱱᱥᱯᱟᱨᱮᱱᱥᱤ |
＞90% |
|
ᱢᱚᱦᱥ ᱠᱮᱴᱮᱡ |
5.5--6.5 |
|
ᱰᱤᱯᱷᱚᱨᱢᱮᱥᱚᱱ ᱯᱚᱭᱮᱱᱴ |
᱑᱒᱘᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ |
|
ᱞᱟᱵᱤᱫ ᱯᱚᱭᱮᱱᱴ |
᱑᱗᱕᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ |
|
ᱮᱱᱤᱞᱤᱝ ᱯᱚᱭᱮᱱᱴ |
᱑᱒᱕᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ |
|
ᱵᱷᱟᱹᱜᱤ ᱜᱚᱨᱚᱢ (20 - 350 ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ) |
᱖᱗᱐ᱡᱮ/ᱠᱮᱡᱤ᱾ ᱰᱤᱜᱨᱤ |
|
ᱛᱷᱟᱨᱢᱟᱞ ᱞᱟᱲᱣᱱᱟ (᱒᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ) |
᱑.᱔ᱰᱟᱵᱽᱞᱩ/ᱢᱤᱴᱟᱨ᱾ ᱰᱤᱜᱨᱤ |
|
ᱜᱚᱨᱚᱢ ᱞᱟᱲᱣᱱᱟ (w/mk,1000 ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ) |
1.0-1.2 |
|
ᱨᱮᱯᱷᱨᱟᱠᱴᱤᱵᱷ ᱤᱱᱰᱮᱠᱥ |
1.4585 |
|
ᱛᱷᱟᱨᱢᱟᱞ ᱯᱟᱥᱱᱟᱣ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱜᱟᱱᱟᱝ |
5.510 -7ᱥᱤ ᱮᱢ/ᱥᱤ ᱮᱢ᱾ ᱰᱤᱜᱨᱤ |
|
ᱞᱚᱞᱚ - ᱠᱟᱹᱢᱤ ᱞᱚᱞᱚ |
᱑᱗᱕᱐--᱒᱐᱕᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ |
|
ᱠᱷᱟᱴᱚ - ᱢᱟᱹᱦᱤᱛ ᱥᱮᱵᱟ ᱞᱚᱞᱚ |
᱑᱔᱕᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ |
|
ᱡᱮᱞᱮᱝ - ᱢᱟᱹᱦᱤᱛ ᱥᱮᱵᱟ ᱞᱚᱞᱚ |
᱑᱑᱐᱐ ᱰᱤᱜᱽᱨᱤ |
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ᱠᱮᱢᱤᱠᱮᱞ ᱜᱩᱱ ᱠᱚ |
ᱜᱚᱱᱚᱝ ᱠᱚ |
|
ᱮᱥᱤᱰ ᱨᱮᱡᱤᱥᱴᱮᱱᱴ |
ᱠᱮᱴᱮᱡ ᱮᱥᱤᱰ (HF ᱪᱷᱟᱰᱟ ᱠᱟᱛᱮ), ᱠᱮᱴᱮᱡ ᱟᱞᱠᱟᱞᱤ, ᱠᱟᱨᱵᱚᱱᱤᱠ ᱥᱚᱞᱦᱮ |
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ᱵᱟᱹᱲᱛᱤ ᱞᱚᱞᱚ ᱛᱮ ᱠᱚᱨᱚᱥᱚᱱ ᱨᱮᱡᱤᱥᱴᱟᱱᱴ |
ᱟᱰᱤ ᱥᱚᱨᱚᱥ |
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ᱫᱷᱟᱛᱩ ᱵᱟᱝ ᱯᱷᱟᱨᱪᱟ ᱡᱤᱱᱤᱥ |
<᱕ ᱯᱤᱯᱤᱮᱢ |
|
ᱵᱤᱡᱽᱞᱤ ᱜᱩᱱ ᱠᱚ |
ᱜᱚᱱᱚᱝ ᱠᱚ |
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ᱨᱮᱡᱤᱥᱴᱤᱵᱷᱤᱴᱤ |
7107Ω.cm |
|
ᱤᱱᱥᱩᱞᱮᱥᱚᱱ ᱫᱟᱲᱮ |
᱒᱕᱐~᱔᱐᱐Kv/cm |
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ᱰᱟᱭᱞᱮᱠᱴᱨᱤᱠ ᱠᱚᱱᱥᱴᱟᱱᱴ |
3.7~3.9 |
|
ᱰᱟᱭᱞᱮᱠᱴᱨᱤᱠ ᱟᱵᱡᱚᱯᱥᱚᱱ ᱠᱚᱯᱷᱤᱥᱤᱭᱮᱱᱴ |
＜410-4 |
|
ᱰᱟᱭᱞᱮᱠᱴᱨᱤᱠ ᱞᱚᱥ ᱠᱚᱯᱷᱤᱥᱤᱭᱮᱱᱴ |
＜110-4 |
|
ᱢᱮᱠᱟᱱᱤᱠᱟᱞ ᱜᱩᱱᱠᱚ |
ᱜᱚᱱᱚᱝ ᱠᱚ |
|
ᱠᱚᱢᱯᱨᱮᱥᱤᱵᱷ ᱫᱟᱲᱮ |
᱑᱑᱐᱐ ᱮᱢ ᱯᱤ ᱮ |
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ᱠᱚᱧᱡᱽᱲᱮ ᱨᱮᱭᱟᱜ ᱫᱟᱲᱮ |
᱖᱗MPa |
|
ᱴᱮᱱᱥᱟᱭᱤᱞ ᱫᱟᱲᱮ |
᱔᱘MPa |
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ᱯᱚᱭᱥᱚᱱ ᱟᱜ ᱚᱱᱥᱚᱝ |
0.14~0.17 |
|
ᱡᱩᱣᱟᱹᱱ ᱟᱜ ᱢᱳᱰᱩᱞᱟᱥ |
᱗᱒᱐᱐᱐ ᱮᱢ ᱯᱤ ᱮ |
|
ᱥᱤᱭᱟᱨ ᱢᱳᱰᱩᱞᱟᱥ |
᱓᱑᱐᱐᱐MPa |
FAQ
Q1: ᱰᱷᱮᱨ ᱠᱷᱚᱱ ᱰᱷᱮᱨ ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴ ᱥᱟᱭᱤᱡᱽ ᱛᱤᱱᱟᱹᱜ ᱢᱮᱱᱟᱜᱼᱟ?
ᱮ: ᱓᱐᱐mm ᱰᱟᱭᱢᱤᱴᱟᱨ ᱦᱟᱹᱵᱤᱡ ᱥᱚᱨᱠᱟᱨᱤ ᱯᱨᱚᱰᱟᱠᱥᱚᱱ, ᱟᱨ ᱮᱱᱰᱤ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱔᱕᱐mm ᱯᱨᱚᱴᱚᱴᱟᱭᱤᱯ ᱢᱮᱱᱟᱜᱼᱟ ᱾
Q2: ᱪᱮᱫ ᱟᱢ ᱠᱟᱥᱴᱚᱢᱟᱭᱤᱡᱽᱰ ᱢᱚᱴᱟ ᱯᱨᱚᱯᱷᱟᱭᱤᱞ ᱮᱢ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜᱼᱟ?
ᱮ: ᱦᱮᱸ - ᱟᱞᱮ ᱯᱨᱚᱰᱭᱩᱥᱟᱱ ᱫᱟᱲᱮᱭᱟᱜᱼᱟ ᱞᱮ:
- ᱣᱮᱡᱽᱰ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨᱥ (ᱞᱮᱡᱟᱨ ᱮᱯᱞᱤᱠᱮᱥᱚᱱ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ)
- ᱥᱩᱦᱤ ᱴᱮᱯᱟᱨᱰ ᱰᱤᱡᱟᱭᱤᱱ
- ᱢᱮᱥᱟ-ᱥᱴᱨᱟᱠᱪᱟᱨᱰ ᱥᱚᱨᱯᱷᱮᱥ
Q3: ᱟᱢ ᱪᱮᱫ ᱞᱮᱠᱟᱱ ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱯᱨᱚᱴᱚᱠᱚᱞ ᱮᱢ ᱞᱟᱹᱭ ᱮᱫᱟ?
ᱮ: ᱥᱚᱨᱠᱟᱨᱤ ᱟᱨ ᱥᱤ ᱮ ᱥᱟᱯᱷᱟ ᱯᱨᱚᱠᱨᱤᱭᱟ:
᱑. ᱚᱨᱜᱟᱱᱤᱠ ᱚᱪᱚᱜ (H2SO4:H2O2)
᱒. ᱟᱭᱚᱱᱤᱠ ᱥᱟᱯᱷᱟ (HCl:H2O2)
᱓. ᱮᱪᱮᱯᱷ{{᱑}} ᱦᱟᱭᱰᱨᱚᱯᱷᱤᱞᱤᱠ ᱥᱚᱨᱯᱷᱮᱥ ᱞᱟᱹᱜᱤᱫ ᱢᱩᱪᱟᱹᱫ
ᱦᱚᱜᱽᱥ: ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴ, ᱪᱟᱭᱱᱟ ᱠᱣᱟᱨᱴᱡᱽ ᱣᱮᱯᱷᱟᱨ ᱥᱟᱵᱽᱥᱴᱨᱮᱴ ᱵᱮᱱᱟᱣ ᱠᱚ, ᱥᱟᱨᱵᱦᱟᱨᱤᱡ ᱠᱚ, ᱯᱷᱮᱠᱴᱨᱤ
ᱤᱱᱴᱮᱜᱽᱨᱮᱥᱚᱱ
ᱟᱢ ᱱᱚᱣᱟ ᱵᱟᱢ ᱠᱩᱥᱤᱭᱟᱜ-ᱟ
